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导光板菲林 - 大尺寸光罩

更新日期：2017-08-11

名称：大尺寸光罩
材料：Soda Lime Glass、Quartz
规格：1100mm×1100mm~406.4mmx457.2mm
应用：PCB行业、平板显示行业

主要应用领域：

　　主要应用于LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP等平板显示行业；HDI、FPC等PCB行业。

Applications：

　　Mainly used in LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP and other flat panel display industry；HDI、FPC and other PCB industry.

铬版精度 Chrome Mask Specifications（Standard Size:430mmx430mm）

精度 / 级别 Items / Class	最高精度 Grade 1	高精度 Grade 2	中精度 Grade 3	一般精度 Grade 4
最小线宽/线缝 Min.Line/Space Width	1.0μm/1.0μm	5μm/5μm	10μm/10μm	20μm/20μm
线条精度 CD Control	±0.15μm （QZ）	±0.5μm	±1.0μm	±2.0μm
总长精度 Total Pitch Accuracy	±0.5μm（QZ）	±1.0μm	±2.0μm	±2.0μm
图形位置精度 Registration Accuracy	±0.5μm（QZ）	±1.0μm	±2.0μm	±3.0μm
套合精度 Overlay Accuracy	±0.5μm（QZ）	±1.0μm	±2.0μm	±3.0μm
垂直精度 Orthogonality	±0.75μrad	±2.0μrad	±3.0μrad	±4.0μrad

铬版材料 Substrate(Photomask blank phate)

材料 Material	Soda Lime Glass、Quartz
最大尺寸Max. Size	1100mm×1100mm
常规尺寸Normal Size	406.4mmx457.2mm,420mmx520mm,450mmx550mm,580mmx609.6mm, 609.6mmx711.2mm,620mmx720mm,700mmx800mm,800mmx960mm
厚度 Thickness	2.3±0.2mm,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm ,7.8±0.2mm 5.0±0.2mm (QZ),8.0±0.2mm (QZ)
铬膜 Film Type	Low Reflectance Chrome
光学密度Optical Density（λ=450nm）	Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3
反射率Reflectivity（λ=436nm）	Between Plates10±5% In Plate±2%